■ 研究の産物 ■
- products of our supermagnetron research -


【装置設備】スーパーマグネトロンプラズマ発生装置 3台

Supermagnetron Plasma CVD 装置 Supermagnetron Plasma CVD 装置
supermagnetron plasma CVD apparatus
Supermagnetron Plasma CVD 装置の構造図 Supermagnetron Plasma CVD 装置の構造図
schematic of supermagnetron plasma CVD apparatus
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小型 Supermagnetron Plasma CVD 装置 小型 Supermagnetron Plasma CVD 装置
mini supermagnetron plasma CVD apparatus
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Supermagnetron Plasma の放電 Supermagnetron Plasma の放電
discharge of supermagnetron plasma
DAC:N膜被覆のフィールドエミッタ素子 DAC:N膜被覆のフィールドエミッタ素子
field emitter coated with DAC:N film
a-CNx:H/p-Si 太陽電池 新型 Au/a-CNx:H/p-Si 太陽電池
a new Au/a-CNx:H/p-Si solar cell
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レジストのエッチ断面 レジストのエッチ断面
cross section of etched resist